膜厚仪
规格指标 1.X射线照射方向： 从上到下 2.X射线激发： 50瓦钨靶微聚焦X射线管， 黄铜管体相比不锈钢管体，具有更好的散热性能，有效延长射线管寿命。 3.电压0-50KV连续可调（满足不同元素的激发，保证测试精准性） 4.探测器类型：先进的固态半导体SiPIN探测器，分辨率优于190eV；相比PC气态探测器带来更低的噪音，更低的检测下限；受环境影响小，稳定性好；不需二次滤波器，提高测试效率。 5.滤波器： 一次滤波器，规格0.1mm Al、0.5mm Al、1.0mm Al,每个一次滤波器可独立于准直器自动切换 6.不低于4096通道的多通道处理器 7.测量元素范围：从铝（13）到铀（92） 8.准直器（测量斑点大小）:四个自动切换，圆形0.1、0.2、0.3、0.6mm直径 ，满足不同样品测试需求。 9.测试标准： 符合ASTM B568及GB/T16921/ISO3497标准 10.测量厚度：可无损分析单镀层，合金镀层，双镀层。最多可分析5层（4层镀层加基材），成分分析时至少支持同时分析25种元素 11.可测样品高度： ≤140mm 12.样品仓内部尺寸： 305mm x 330mm (宽x深)： 13.Z轴控制：Z轴马达驱动自动控制升降，行程140mm，配有Z轴防撞机构 14.样品平台： 固定样品平台，样品通过手动自由调节。 15.焦距及对焦：固定焦距，0至2.5英寸可选，激光自动对焦。 16.准确度和重复性：厚度大于0.5um首层准确度≤±5%（测试平均值与标准片值相比），重复性相对标准偏差≤5%（单点重复测量10次） 17.操作软件： 基于FP（基本参数法）的控制软件 18.可将波谱文件保存，并在日后进行重新分析、处理和计算 19.测量数据可通过通讯接口实时输出，方便接入用户单位的实验室管理系统 在软件的状态栏可实时显示X射线管及探测器温度及电压电流等参数，……
